长晶炉是用于人工合成晶体的设备。在利用长晶炉获取碳化硅晶体时,首先需要将高纯碳化硅粉料置于密闭的石墨坩埚中,而后将密闭的石墨坩埚放入长晶炉的腔体内,利用真空泵对腔体抽取真空后向腔体内通入定量惰性气体,然后通过感应线圈实现石墨坩埚的感应加热以合成碳化硅晶体,同时炉体上设有石英玻璃制成的测温窗口,以通过红外测温仪获取腔体内的温度并根据温度调节加热功率。而在晶体合成的过程中,腔体内的气氛中会生成有一定量的挥发物,挥发物凝结在测温窗口表面会影响红外测温仪获取腔内温度的准确性,进而影响加热温度的准确性。目前是通过定期更换石英玻璃或者磨抛石英玻璃以保证测温窗口的洁净,但是这种方式会导致石英玻璃的损耗较大,成本较高,且更换及磨抛石英玻璃还会造成人力资源的消耗。