石英环清洗机
1? 控制模式:? 手动控制模式? 自动控制模式;
2 清洗对象:石英环
? 设备形式: 室内放置型;
4 尺寸(参考,含地脚):3500? mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000? mm(H);
5? 机台总体结构暂定分为两部分,机械运行机构装置与机台上方(可拆卸);
6? 工艺说明:手动方式实现放件、取件,机械臂自动方式实现槽体间传送件;
7? 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
8? 机械臂几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
9 为确保清洗工艺和机械手的使用寿命,机械手由多种工业材料和特殊的表面处理构成
半导体分立器件:炉管清洗机、RCA清洗机、去胶台、有机去胶清洗机、溅射前预清洗、铝腐蚀台、显影台 、CVD清洗台、扩散清洗机、金属腐蚀台等;半导体集成电路:酸碱清洗台;...
半导体行业:半导体材料:硅片清洗机、氮化镓清洗机、砷化镓清洗机、锗片清洗机、全自动石英管清洗机、石英钟罩清洗机、石英环清洗机、陶瓷盘清洗机、石英工件清洗机等;...
半导体第三代半导体湿法清洗机、SiC清洗机、碳化硅清洗机、GaN清洗机、氮化镓清洗机、晶圆最终清洗机、CMP后清洗机、外延自动清洗机...
自动片盒清洗机适用产业:半导体照明(LED)--半导体材料、半导体分立器件、集成电路、MEMS、有机发光二级管(OLED)、太阳能光伏等;控制模式:手动控制模式、自动控制模式;制程应用:湿法清洗制程;...
陶瓷盘清洗机一、设备外型结构及主要参数名称:陶瓷盘清洗机。控制模式:?手动控制模式??自动控制模式。清洗对象:陶瓷盘? 设备形式:室内放置型。 尺寸(参考,详见图纸,含地脚):30...
石英环清洗机1?控制模式:?手动控制模式?自动控制模式;2清洗对象:石英环?设备形式:室内放置型;4尺寸(参考,含地脚):3500?mm(L)×1500mm(W)×2000+1000?mm(H);5?...
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